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工程概況

該廠房為為某微電子廠房的芯片組裝、檢測廠房，廠房分為上下兩層， 上層主要以 PQC 、培訓(xùn)等功能為主，包括 10k 級、1k 級含局部 100 級工作臺的潔凈室。下層主要以組裝為主要功能，包括 10k 級、100k 級的潔凈室。

設(shè)計(jì)參數(shù)

根據(jù)業(yè)主提供的氣象參數(shù)和生產(chǎn)工藝的要求，室內(nèi)外的參數(shù)如下 :

(1) 室外設(shè)計(jì)參數(shù) 　

夏季空調(diào)干球溫度33. 5 ℃，空調(diào)濕球溫度 27. 7 ℃，相對濕度 83 % ，室外風(fēng)速 1. 8m/ s 。 冬季空調(diào)溫度 5 ℃，相對濕度 70 %，室外風(fēng)速 2. 4m/ s 。

(2) 室內(nèi)設(shè)計(jì)參數(shù) 　

室內(nèi)干球溫度 21 ± 2 ℃，室內(nèi)相對濕度 60 ± 5 %。

空調(diào)設(shè)計(jì)方案

潔凈空調(diào)系統(tǒng)方案具有一般系統(tǒng)所不同的特點(diǎn)，由于系統(tǒng)循環(huán)風(fēng)量較大，室內(nèi)為滿足上述室內(nèi)設(shè)計(jì)參數(shù)，減少空調(diào)設(shè)備對室內(nèi)潔凈度的影響保證室內(nèi)正壓的實(shí)現(xiàn)，從而優(yōu)選采用低速送風(fēng)的全空氣系統(tǒng)，同時(shí)系統(tǒng)負(fù)荷中設(shè)備發(fā)熱量占有較大比重，系統(tǒng) 24 小時(shí)運(yùn)行，相對而言冷負(fù)荷比較恒定，因而選擇易于維修、保養(yǎng)的設(shè)備。

芯片凈化車間其他特點(diǎn)

潔凈廠房的室內(nèi)設(shè)備發(fā)熱量和人員發(fā)熱量一般較大約占總設(shè)計(jì)冷負(fù)荷的 80 % 左右相對而言圍護(hù)結(jié)構(gòu)的耗冷量較小。整個(gè)系統(tǒng)主要表現(xiàn)為制冷工況即使在冬季。廠房概算夏季冷負(fù)荷指標(biāo)平均一般在 350 ～ 550W/ m 2視局部發(fā)熱源而定。 局部發(fā)熱量較大的區(qū)域甚至要設(shè)置冷盤管 (DRY COIL)通過冷輻射消除負(fù)荷。

潔凈廠房要維持一定的潔凈度 必須保持一定的換氣量。 國家設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)中對于潔凈室的換氣次數(shù)是這樣規(guī)定的 :

1k 級不小于50次一般取值為 80n/ h；10k 級不小于 25 次一般取值為 30 ～ 40n/ h ；100k 級不小于 15 次 一般取 20n/ h；100 級已經(jīng)達(dá)到層流室的要求一般取值在 300 ～ 400n/ h 左右。 所以大風(fēng)量、小冷量是潔凈室設(shè)計(jì)的一個(gè)特點(diǎn)，通常通過在空氣處理單元中加旁通閥解決這個(gè)問題，而對于100 級的潔凈室，因?yàn)檠h(huán)風(fēng)量太大，無法用太大的送風(fēng)機(jī)，則通過在天花板中均布帶風(fēng)機(jī)高效過濾器 (FFU) 解決這個(gè)問題。