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隨著經(jīng)濟和科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展，特別是電子工業(yè)的發(fā)展，產(chǎn)品加工要求精密化、微型化、高質(zhì)量和高可靠性，對生產(chǎn)環(huán)境的塵埃離子污染要求可控。潔凈技術(shù)在近20年發(fā)展十分迅速，各種規(guī)模、不同潔凈度等級的潔凈車間在電子、航天、冶金、生物制藥、醫(yī)療、食品、化妝品等行業(yè)發(fā)揮著日益重要的作用。伴隨著越來越多的潔凈廠房和無塵室的興建，建設(shè)過程中施工標(biāo)準(zhǔn)化、制度化顯得尤為重要。

天津三星LED生產(chǎn)潔凈車間是天津三星LED有限公司投資建設(shè)的LED生產(chǎn)基地。LED生產(chǎn)需要環(huán)境的潔凈標(biāo)準(zhǔn)非常高，因為顆粒直徑為5μm的粉塵都可能造成電極的擊穿，一般廠房要求具有5000級以上的潔凈度，局部的工作臺甚至要求1000級。筆者參與了該潔凈車間的設(shè)計，施工和維護管理制度的制定工作，并結(jié)合近幾年的潔凈車間的施工經(jīng)驗，談一談工業(yè)潔凈空間的施工中的注意事項。

一、材料的選用和保管材料是確保潔凈廠房潔凈度的最基本條件。潔凈空間施工必須在材料的選取、采購、運輸保管過程中做到合理嚴(yán)謹(jǐn)。

潔凈空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管采用鍍鋅鋼板加工。吊架，加固框，連接件均采用鍍鋅件；法蘭墊料應(yīng)用有彈性、不產(chǎn)塵，有一定強度的軟橡膠或者乳膠海綿；風(fēng)管的外保溫采用難燃橡塑板，以專用膠粘貼，嚴(yán)禁在施工過程中使用玻璃棉等纖維制品。由于不同材質(zhì)的管道其透氣性能并不相同，所以輸送生產(chǎn)所需氮氣、壓縮空氣和真空的管道選用能夠阻止大氣中氧的滲透和腐蝕的不銹鋼管。

在材料的采購過程中必須嚴(yán)格按照設(shè)計要求選用同種產(chǎn)品中有質(zhì)量保證的產(chǎn)品，并且不得隨意更改調(diào)換。進場實物檢查時要注意材料規(guī)格，材料光潔度，板材要檢查平整度，邊角角方度，鍍鋅層的粘結(jié)度等。材料運輸過程中必須注意保持材料完好的包裝，防潮、防撞擊、防污染。重要的管段端頭要有塑料或橡膠的密封罩加以密封，不得出現(xiàn)脫落和破裂。在保管過程中各種材料應(yīng)設(shè)立專用倉庫，不得露天存放，更不得日曬和風(fēng)吹雨淋。存放處必須干凈，無污染源，避免潮濕。同時應(yīng)縮短材料倉庫存放時間，做到隨用隨進貨，盡量不出現(xiàn)積壓。

電氣所用線管、橋架、電纜及配電箱等無特殊要求，但在生產(chǎn)后要在第一時間進行如下處理：首先對成品進行吹掃，再用工業(yè)酒精進行擦拭，然后用塑料布進行密封包纏。并且在運輸和儲存過程中不準(zhǔn)將其外包裝去掉，以防止灰塵附著。

二、施工準(zhǔn)則

無塵施工的基本原則：

1.不得攜入帶有垃圾塵埃的物品。

2.不得造成垃圾塵埃的產(chǎn)生，發(fā)塵作業(yè)須采取相應(yīng)措施避免。

3.發(fā)生垃圾塵埃，須立即排除。

三、施工要求

1.風(fēng)管的制作與安裝

為保證系統(tǒng)的潔凈度，嚴(yán)格的制作過程必不可少。加工場所和使用機具必須做到清潔干凈，加工人員要具備高的技術(shù)水平和良好的職業(yè)素質(zhì)，能按照規(guī)定的程序和操作規(guī)程進行制作。

潔凈廠房通風(fēng)管道的制作過程除了遵守一般風(fēng)管的制作過程和制作標(biāo)準(zhǔn)之外還應(yīng)注意到加工前，應(yīng)清除板材上的油污，做到一摸、二擦、三查，保證將油污徹底清除干凈。為避免鐵皮被劃磨出傷痕，破壞鋅層或沾染灰塵，在平整的水泥地面鋪上厚度為3mm的橡皮板，在橡皮板上下料。在剪切、制咬口、拼接、折方、搬運片料時，采用四輪小推車轉(zhuǎn)接傳送料，嚴(yán)禁物料接觸地面或出現(xiàn)拖拉現(xiàn)象。半成品也必須堆放在鋪設(shè)有橡皮板的地面或平臺上。

風(fēng)管清洗是保證潔凈的一道重要工序，國產(chǎn)鍍鋅鋼板都沒有經(jīng)過脫脂處理，鋼板表面涂有大量的油脂，若不清洗干凈，則會在運輸、安裝及以后的運行過程中沾染灰塵，使用過程中可會導(dǎo)致一次性的積塵飛揚，從而使過濾器前的空氣含塵濃度增大，這對高效過濾器的使用周期和效率都有很大的影響，所以必須清洗。除塵可用清水或純水加中性清洗劑，脫脂的方法可用工業(yè)酒精即可。

清洗的順序為:清水清洗→中性清洗劑清洗→工業(yè)酒精脫脂→清水再清洗→潔凈布擦洗→白綢布擦拭檢驗。合格(不變色為合格)以后的風(fēng)管立即用塑料薄膜進行封口處理。風(fēng)管的安裝是潔凈施工的關(guān)鍵。

對所需安裝的風(fēng)管走向測位、放線后方可以對風(fēng)管啟封。在安裝吊托支架時，不允許敲打，潔凈風(fēng)管開封過程中，嚴(yán)禁與其它工程交叉作業(yè)，以防止灰塵進入風(fēng)管。廠房外墻壁必須全部砌好，門窗安裝完畢，玻璃上好，所有孔洞封閉嚴(yán)密，避免外界污物侵入。廠房內(nèi)隔斷必須待潔凈風(fēng)管安裝完畢，端口封好后才可施工，防止墻壁磚縫積塵被震動飛入風(fēng)管內(nèi)。地坪和外墻進行全面清掃，并用吸塵器清除浮塵。地面用清水沖刷干凈，經(jīng)常保持良好的環(huán)境，安裝工人先在門外更衣室換衣、換鞋后再進入潔凈車間內(nèi)施工。潔凈風(fēng)管從主管根部開始向前安裝，風(fēng)管一經(jīng)開封，即與法蘭連接好，避免敞口時間過長灰塵侵入風(fēng)管內(nèi)。暫不相接的一邊端口不要啟口?？照{(diào)風(fēng)管法蘭密封墊料采用厚度為6mm的海綿橡膠，墊料接口方式采用梯形接口，安裝時兩面涂膠粘牢，墊料內(nèi)側(cè)應(yīng)與風(fēng)管內(nèi)壁平齊，通風(fēng)管道采用3mm厚耐酸橡膠板。風(fēng)管與設(shè)備、風(fēng)口連接處應(yīng)設(shè)高強度光面合成革軟接頭，L<=250mm，光面向里，各接縫處應(yīng)嚴(yán)密不漏風(fēng)。不論自制還是外購的成品，在安裝前均必須進行清理檢查，達到潔凈要求后方可封口。風(fēng)管安裝后，保溫前應(yīng)進行漏光法檢測與漏風(fēng)量測試，以確保風(fēng)管的嚴(yán)密封性。

2.工業(yè)管道的施工

潔凈廠房內(nèi)工業(yè)管道的支架距離要適中，而且不采用柔性支撐的固定方式，以防止啟動時的氣流沖擊造成管道震動引起粒子的脫落污染氣體。管路連接采用氬弧焊，但是為了防止直接對焊，焊接過程中采用管套。必須說明的是管套應(yīng)選用與管材同等材料和內(nèi)面光滑度等級，管套與管材的結(jié)合部縫隙一定不能過大，與管材的重疊部分也不宜過長，同時管套內(nèi)徑加工時應(yīng)使管材管徑過盈，安裝對接時用木錘輕敲管套，使其緊套前段管頭。這樣焊接時不僅焊渣不會落入管內(nèi)，也克服了由于重疊部分太長，間隙過大而造成的氣體死角，避免由于雜質(zhì)氣體進入狹縫后再次投入運行時污染潔凈的氣體。在系統(tǒng)安裝完畢投入使用前，應(yīng)當(dāng)用所輸送的高純凈氣體對輸配管道系統(tǒng)進行徹底地吹掃。這樣，不僅可以吹除由于安裝過程中不慎落入系統(tǒng)的粉塵粒子，而且也起到對管道系統(tǒng)干燥的作用，去除管壁所吸附的含濕氣體。由于在現(xiàn)場的設(shè)備比較多，每一分支管道上都帶很多設(shè)備，閥門多，分支復(fù)雜，應(yīng)采用間斷方式進行吹掃。太多“滯區(qū)”的存在增加了吹掃的難度，“

加壓—泄壓”的方法可以達到很好的效果，加壓過程使滯區(qū)內(nèi)雜質(zhì)分布重新分配，待泄壓時就容易清出。但間斷式清掃的次數(shù)應(yīng)達到10次為佳。

安裝施工結(jié)束后要對輸送氣體的純度、干燥度和潔凈度進行檢測。具體做法為將生產(chǎn)用的壓縮空氣或氮氣輸入管道，然后在系統(tǒng)的始末位置進行這三項指標(biāo)變化的測定，從而分析管道接口和焊縫的嚴(yán)密性、管材滲透性和管壁氣流的沖刷狀況。

3.電氣施工

電氣的施工過程主要注意以下幾個方面的事項：首先為了保證潔凈空間的密封性，所有開的空洞必須進行封堵。其中燈具電源線的進線孔在穿入電線后用難燃橡膠進行封堵后再雙面打膠進行密封。對于電纜進線孔洞較大，在穿過電纜后，用不燃的材料塞緊，以防止灰塵進入。包有塑料的配電箱和橋架在安裝時除連接和墻板接觸部分外，其他部分保護薄膜均不拆除，直到空調(diào)潔凈系統(tǒng)投入后才可以將其拆掉，然后用工業(yè)酒精進行擦拭。在線槽上安裝插座時打孔所產(chǎn)生的鐵屑要用吸塵器進行及時清理，不準(zhǔn)遺留。其余施工程序步驟及準(zhǔn)則均按照相關(guān)國家規(guī)范施工。

4.潔凈車間投入后的施工

潔凈車間施工完成投入使用后不可避免的會有對已完工程進行完善、修補或者更改。這時的施工難度就很大，應(yīng)嚴(yán)格按照以下的操作進行。

首先進入潔凈車間的人員要先進行登記，然后正確穿著潔凈服后方可進入潔凈車間，而需要帶入潔凈車間的工具材料要先用酒精擦拭，然后用保鮮膜包纏密封后經(jīng)風(fēng)淋室進入。如果施工量較大，作業(yè)時間較長，須在靠近潔凈車間較近位置搭設(shè)一密封空間進行材料加工，物料準(zhǔn)備。

其次如果出現(xiàn)鉆孔打膨脹螺栓等工作，必須在施工過程中持續(xù)用吸塵器正對操作區(qū)域吸塵，打入的螺栓要在外表面涂抹膠，防止灰塵產(chǎn)生。如果灰塵產(chǎn)生量很大，需用彩條布將操作區(qū)域圍擋密封，施工結(jié)束，清理干凈后方可拆除圍擋。

四、結(jié)語

潔凈廠房的建設(shè)是一個系統(tǒng)的工程，涉及土建、裝飾、通風(fēng)空調(diào)、工業(yè)管道和電氣等多個工種的交叉作業(yè)和相互配合，彼此間的合理的工序安排非常重要。組織協(xié)調(diào)工作也是重中之重。但是獨立專業(yè)的高效施工，嚴(yán)格管理，施工過程嚴(yán)格按照規(guī)則進行，不打折扣是做好潔凈廠房的基本條件。而投入使用后的運行管理依然是不可忽視的一方面。管理規(guī)則的制定只是基礎(chǔ)，所有人員的嚴(yán)格遵守才是關(guān)鍵。