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近年來，電子產(chǎn)品發(fā)展很快，向大屏幕、平面化、薄型化、高清等方向發(fā)展迅猛，大規(guī)模集成電路，已從微米發(fā)展到亞微米再到納米。所以，電子工業(yè)潔凈廠房的建筑設(shè)計(jì)，必須適應(yīng)新時(shí)期的需要。本文就結(jié)合實(shí)際項(xiàng)目設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)對(duì)電子潔凈廠房的建筑設(shè)計(jì)進(jìn)行探討分析。

1 電子潔凈廠房建筑設(shè)計(jì)特點(diǎn)

廠房設(shè)計(jì)的根本原則是滿足工藝生產(chǎn)的要求。電子潔凈廠房有三個(gè)最主要的特點(diǎn)：第一生產(chǎn)工藝對(duì)建筑體量的要求越來越大，投資規(guī)模也越來越大；第二，對(duì)于環(huán)境的潔凈度、溫濕度、防微震都有嚴(yán)格的要求；第三，在電子產(chǎn)品如電子材料、半導(dǎo)體器件、集成電路、液晶顯示器件等生產(chǎn)過程中，需要使用甲苯、丙酮、硅烷等易燃易爆物品，火災(zāi)危險(xiǎn)性較高，它們對(duì)潔凈廠房構(gòu)成潛在的火災(zāi)威脅。

2 電子潔凈廠房建筑設(shè)計(jì)需求分析

首先，由于電子潔凈廠房的體量較大，在設(shè)計(jì)時(shí)需要根據(jù)具體的需求進(jìn)行場(chǎng)地的布置，劃分不同的功能區(qū)域的問題，以滿足生產(chǎn)過程對(duì)于廠房的要求。生產(chǎn)區(qū)域需要盡量靠近硅烷站、動(dòng)力站、廢水站以及固廢站等區(qū)域，方便進(jìn)行管理并保證生產(chǎn)安全，而且能夠簡(jiǎn)化管線的布置。與此同時(shí)，廠房的規(guī)模更大，就應(yīng)對(duì)火災(zāi)危險(xiǎn)性的等級(jí)與耐火等級(jí)進(jìn)行合理的定義，規(guī)范防火區(qū)域的劃分，設(shè)計(jì)合理的安全疏散通道。

其次，由于電子潔凈廠房對(duì)溫濕度與潔凈度具有極高的要求，需要采取行之有效的措施來提高廠房環(huán)境的潔凈度。與此同時(shí)，廠房對(duì)于防微振控制的要求同樣較高，需要盡量降低廠房?jī)?nèi)發(fā)生微小振動(dòng)對(duì)產(chǎn)品生產(chǎn)的影響，提高生產(chǎn)效率。再次，由于電子產(chǎn)品生產(chǎn)需要使用大量的易燃易爆材料，火災(zāi)隱患高于其他種類產(chǎn)品的生產(chǎn)過程。并且廠房?jī)?nèi)的空間緊湊，疏散路線的確定具有較大的難度，在設(shè)計(jì)中需要合理地安排疏散路線，防止因火災(zāi)造成嚴(yán)重的損失。

3 新形勢(shì)下電子潔凈廠房建筑設(shè)計(jì)分析

3.1電子潔凈廠房安全疏散設(shè)計(jì)

安全疏散設(shè)計(jì)是防火設(shè)計(jì)的重要內(nèi)容，建筑物發(fā)生火災(zāi)時(shí)，為避免建筑內(nèi)人員因火燒、煙熏中毒和房屋倒塌而遭到傷害，必須盡快撤離，室內(nèi)的物資也要盡快搶救出來。相關(guān)電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范中規(guī)定潔凈廠房的安全出口的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定：每一生產(chǎn)層、每個(gè)防火分區(qū)或每一潔凈室的安全出口數(shù)目，應(yīng)符合相關(guān)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范中相關(guān)規(guī)定；安全出口應(yīng)分散布置，并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標(biāo)志；安全疏散距離應(yīng)符合相關(guān)建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范的規(guī)定。安全疏散用門應(yīng)向疏散方向開啟，并應(yīng)設(shè)觀察玻璃窗；丙類生產(chǎn)的電子潔凈廠房，在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備自帶火災(zāi)報(bào)警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災(zāi)報(bào)警探測(cè)系統(tǒng)后，安全疏散距離可按工藝需要確定，但不得大于第2款規(guī)定的安全疏散距離的1.5倍。

3.2電子潔凈廠房的防火設(shè)計(jì)

防火分區(qū)是采用具有一定耐火性能的分隔構(gòu)件劃分的，能在一定時(shí)間內(nèi)防止火災(zāi)蔓延。電子潔凈廠房的建筑防火設(shè)計(jì)要考慮以下幾個(gè)方面：

(1)電子潔凈室為保證廠房的潔凈度，避免開窗形成密閉的空間，保證氣密性。這樣導(dǎo)致火災(zāi)發(fā)生后，大量的煙氣令人窒息昏厥，而外墻無窗難以發(fā)現(xiàn)室內(nèi)的火災(zāi)，對(duì)疏散和

撲救都不利，所以相關(guān)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范明確規(guī)定：潔凈廠房同層潔凈室外墻應(yīng)設(shè)可供消防人員通往廠房潔凈室的門窗，其門窗洞口間距大于80m時(shí)，應(yīng)在該段外墻的適當(dāng)部位

設(shè)置專用消防口。相關(guān)建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范提出了更嚴(yán)格的要求：供消防救援人員進(jìn)入的窗口的凈高度和凈寬度均不應(yīng)小于1.0m，間距不宜大于20m且每個(gè)防火分區(qū)不應(yīng)少于2個(gè)。

電子潔凈廠房設(shè)有人員凈化、物料凈化設(shè)施，各生產(chǎn)區(qū)域因潔凈度等級(jí)差導(dǎo)致建筑內(nèi)部區(qū)劃分隔復(fù)雜，建筑內(nèi)部平面布置曲折，工作人員平時(shí)出入要通過曲折迂回的路線，增加了疏散路線上的障礙，延長(zhǎng)了安全疏散的距離和時(shí)間。所以相關(guān)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范明確規(guī)定：安全出入口應(yīng)分散布置，從生產(chǎn)地點(diǎn)至安全出口不應(yīng)經(jīng)過曲折的人員凈化路線，并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標(biāo)志。潔凈廠房設(shè)備密閉性良好，并設(shè)有氣體或可燃蒸汽報(bào)警裝置和滅火裝置時(shí)，應(yīng)按丙類設(shè)防。可見，電子潔凈廠房的定性為丙類建筑。根據(jù)其火災(zāi)特性，為了保障財(cái)產(chǎn)、人身的安全，嚴(yán)格控制潔凈廠房的耐火等級(jí)，相關(guān)電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范中明確規(guī)定：潔凈廠房耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。

3.3電子潔凈廠房潔凈度設(shè)計(jì)

潔凈廠房設(shè)計(jì)時(shí)如何控制潔凈度對(duì)于建筑設(shè)計(jì)來說尤為重要。電子潔凈廠房潔凈度設(shè)計(jì)要考慮以下幾個(gè)方面：

(1)工作人員及物流凈化。對(duì)于電子潔凈廠房?jī)?nèi)工作人員的凈化，必須遵循由外向內(nèi)，逐步凈化的凈化原則，工作人員在進(jìn)入廠房后必須人員凈化采用一二次更衣再進(jìn)入準(zhǔn)潔凈區(qū)域，在這個(gè)區(qū)域內(nèi)，需要通過空氣吹淋處理才能夠進(jìn)入潔凈區(qū)域。在進(jìn)行廠房設(shè)計(jì)時(shí)必須合理安排這一路線，防止因人員走動(dòng)造成交叉污染。潔凈廠房的物料或設(shè)備入口必須單獨(dú)設(shè)置，這些入口不得有人員通過，物料與設(shè)備在進(jìn)入潔凈區(qū)域前，必須經(jīng)過凈化處理，在進(jìn)行廠房設(shè)計(jì)時(shí)必須為其設(shè)置物料凈化區(qū)域，這個(gè)區(qū)域與潔凈區(qū)之間需要通過傳遞窗或氣閘室連接，完成凈化的物料必須通過傳遞窗或氣閘室機(jī)內(nèi)潔凈區(qū)，以確保物料與設(shè)備的進(jìn)入不會(huì)對(duì)潔凈區(qū)的潔凈度造成影響。

(2)裝修材料的選擇。對(duì)電子潔凈廠房的潔凈度進(jìn)行控制，不僅需要控制空氣中的塵粒，同時(shí)還要對(duì)室內(nèi)裝修使用的材料進(jìn)行有效的控制。在對(duì)潔凈廠房進(jìn)行室內(nèi)裝修時(shí)，不允許使用能夠釋放影響電子產(chǎn)品裝修材料，生產(chǎn)區(qū)地面為防靜電高架地面，地面、回風(fēng)技術(shù)下夾層墻面、頂棚、光刻間密梁結(jié)構(gòu)均采用環(huán)氧樹脂涂裝，墻面及吊頂均為氣密性好的凈化金屬壁板。動(dòng)力區(qū)地面采用防塵涂料地面、防腐地磚。結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)應(yīng)盡量保持平整。并且還要確保圍護(hù)結(jié)構(gòu)的密閉性。一般情況下，圍護(hù)結(jié)構(gòu)的密閉性需要通過減少結(jié)構(gòu)的中的縫隙或提高縫隙密閉性來解決。

4 結(jié)束語

由上可知，在新形勢(shì)下對(duì)電子潔凈廠房建筑進(jìn)行設(shè)計(jì)的過程中，必須在滿足各項(xiàng)規(guī)范要求的前提下對(duì)工藝流線進(jìn)行合理的布局，并保證防火區(qū)域劃分與安全出口設(shè)置的科學(xué)性。