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結(jié)合微電子工業(yè)發(fā)展要求， 注重與之相關(guān)的潔凈廠房的設(shè)計(jì)探討， 有利于完善其使用功能， 確保微電子工業(yè)生產(chǎn)計(jì)劃的順利實(shí)施。因此，需要采取有效的設(shè)計(jì)措施，實(shí)現(xiàn)微電子工業(yè)潔凈廠房的科學(xué)設(shè)計(jì)，完善其所需的設(shè)計(jì)方案。在此基礎(chǔ)上，有利于實(shí)現(xiàn)微電子工業(yè)的可持續(xù)發(fā)展。

1 微電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)的相關(guān)內(nèi)容探討

作為微電子工業(yè)生產(chǎn)中重要的設(shè)施組成之一，潔凈廠房生產(chǎn)應(yīng)用中所發(fā)揮的作用巨大， 并包含了多個(gè)組成部分，像空氣凈化系統(tǒng)、高純氣體供應(yīng)系統(tǒng)等。實(shí)踐中的微電子工業(yè)潔凈廠房組成示意圖如圖 1 所示。

微電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)的特點(diǎn)包括：（1）在潔凈廠房設(shè)計(jì)方案形成過程中，需要根據(jù)實(shí)際情況，對空氣潔凈等級、高純物質(zhì)等進(jìn)行充分考慮，滿足相應(yīng)的技術(shù)要求；（2）為了提高微電子工業(yè)潔凈廠房實(shí)踐應(yīng)用中的潔凈度，需要與之相關(guān)的專業(yè)操作中不引入或少引入污染物， 并注重不同專業(yè)之間的配合操作；（3）微電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)應(yīng)達(dá)到安全生產(chǎn)及環(huán)保要求， 且其生產(chǎn)中污染物的排放應(yīng)達(dá)到行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求。同時(shí)， 為了更好地適應(yīng)時(shí)代的發(fā)展要求， 微電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)中應(yīng)考慮靈活性要求。除此之外，在微電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)方法運(yùn)用中，需要注重其位置選擇、總平面布置及平面布置，滿足生產(chǎn)工藝要求，提升潔凈廠房設(shè)計(jì)水平。

2 微電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)分析

2. 1 潔凈廠房暖通空調(diào)的設(shè)計(jì)分析

在實(shí)現(xiàn)微電子工業(yè)潔凈廠房科學(xué)設(shè)計(jì)的過程中，需要在氣體動(dòng)力專業(yè)、弱電專業(yè)、建筑專業(yè)等不同專業(yè)的配合作用下，保持潔凈廠房良好的設(shè)計(jì)效果。實(shí)踐中進(jìn)行微電子工業(yè)潔凈廠房暖通空調(diào)設(shè)計(jì)工作時(shí)，可從以下方面入手：

注重生產(chǎn)區(qū)凈化空調(diào)系統(tǒng)與動(dòng)力支持區(qū)降溫空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)。 在對凈化空調(diào)系統(tǒng)進(jìn)行設(shè)計(jì)時(shí)， 設(shè)計(jì)人員應(yīng)強(qiáng)化自身的責(zé)任意識(shí)，且在行業(yè)技術(shù)規(guī)范的要求下，落實(shí)好相應(yīng)的設(shè)計(jì)工作。 在該系統(tǒng)設(shè)計(jì)工作中，需要做到：根據(jù)潔凈室的實(shí)際情況，借助計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的應(yīng)用優(yōu)勢，在計(jì)算機(jī)三維空間中對潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級進(jìn)行充分考慮，確定不同空氣潔凈度等級下的粒徑及最大濃度極限；為了提升凈化空調(diào)系統(tǒng)實(shí)踐應(yīng)用水平，需要設(shè)計(jì)人員在其設(shè)計(jì)中控制好該系統(tǒng)所在區(qū)域的溫度、濕度、所在區(qū)域的潔凈度、壓力等參數(shù)；結(jié)合生產(chǎn)區(qū)凈化空調(diào)系統(tǒng)的功能特性，需要設(shè)置好高級別的潔凈室，并注重化學(xué)過濾器的配合使用，實(shí)現(xiàn)新風(fēng)高效處理的同時(shí)提高分子污染物處理效率；選用性能可靠的空氣處理設(shè)備、風(fēng)管材質(zhì)等， 并加強(qiáng)它們的安裝過程控制，確保生產(chǎn)區(qū)凈化空調(diào)系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。同時(shí)，應(yīng)重視凈化空調(diào)系統(tǒng)技術(shù)的高效利用，且在集中送風(fēng)及風(fēng)機(jī)過濾單元送風(fēng)方式的配合作用下，提高凈化空調(diào)系統(tǒng)運(yùn)行效率。

在微電子工業(yè)潔凈廠房暖通空調(diào)設(shè)計(jì)過程中，也需要對與之相關(guān)的綜合動(dòng)力站降溫空調(diào)系統(tǒng)、 生產(chǎn)區(qū)生產(chǎn)廢氣通風(fēng)系統(tǒng)、生產(chǎn)區(qū)事故排風(fēng)系統(tǒng)、消防排煙系統(tǒng)等系統(tǒng)進(jìn)行設(shè)計(jì)分析。在此期間，應(yīng)根據(jù)微電子工業(yè)生產(chǎn)的實(shí)際要求及潔凈廠房暖通空調(diào)的功能特性，選擇性能可靠的設(shè)備，且在不同專業(yè)的共同支持下，完善相應(yīng)的系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案，促使?jié)崈魪S房暖通空調(diào)設(shè)計(jì)更具合理性，從而滿足潔凈廠房的設(shè)計(jì)要求。

2. 2 潔凈廠房的給排水設(shè)計(jì)分析

在微電子工業(yè)潔凈廠房給排水設(shè)計(jì)過程中，需要注重其中的生活給排水系統(tǒng)、生產(chǎn)給排水系統(tǒng)、消防給水系統(tǒng)及工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)設(shè)計(jì)，以便增強(qiáng)潔凈廠房在微電子工業(yè)生產(chǎn)中的實(shí)踐應(yīng)用效果。具體表現(xiàn)在以下方面：

（1）實(shí)踐中的生活給排水系統(tǒng)與生產(chǎn)給排水系統(tǒng)設(shè)計(jì)。

在生活給排水系統(tǒng)設(shè)計(jì)過程中， 設(shè)計(jì)人員應(yīng)注重水源資料收集， 對不同的水質(zhì)進(jìn)行深入分析，并結(jié)合不同季節(jié)水溫變化情況，構(gòu)建出功能強(qiáng)大的基于半導(dǎo)體項(xiàng)目的超純水系統(tǒng)，從而提升微電子工業(yè)潔凈廠房給水系統(tǒng)的實(shí)踐應(yīng)用水平。同時(shí)，應(yīng)結(jié)合建筑領(lǐng)域給排水的設(shè)計(jì)規(guī)范要求，選擇性能可靠的排水設(shè)備及材料，構(gòu)建出環(huán)境適用性良好的排水系統(tǒng)，從而為潔凈廠房生活給排水系統(tǒng)的正常運(yùn)行提供保障；在生產(chǎn)給排水系統(tǒng)設(shè)計(jì)過程中，應(yīng)結(jié)合微電子工業(yè)潔凈廠房的實(shí)際情況，將該系統(tǒng)的設(shè)計(jì)工作落到實(shí)處，選用質(zhì)量可靠的給排水設(shè)備并加以使用。

（2）實(shí)踐中的消防給水系統(tǒng)及工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)設(shè)計(jì)。在微電子工業(yè)潔凈廠房消防給水系統(tǒng)設(shè)計(jì)中， 需要設(shè)置功能特性良好的自動(dòng)噴灑滅火系統(tǒng)、 水噴霧滅火系統(tǒng)、 泡沫—自動(dòng)噴水聯(lián)用滅火系統(tǒng)及氣體滅火系統(tǒng)，并根據(jù)不同系統(tǒng)的應(yīng)用優(yōu)勢，設(shè)置于潔凈廠房的指定區(qū)域；在工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)設(shè)計(jì)過程中，需要加強(qiáng)環(huán)境適應(yīng)性良好的工藝設(shè)備使用。

2. 3 潔凈廠房的氣體動(dòng)力設(shè)計(jì)分析

（1）功能強(qiáng)大的潔凈壓縮空氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)。在該系統(tǒng)設(shè)計(jì)過程中，設(shè)計(jì)人員應(yīng)了解氣體動(dòng)力專業(yè)內(nèi)容，像真空、冷凍等系統(tǒng)的功能特性，并設(shè)置好室內(nèi)外氣體管道，落實(shí)好相應(yīng)的設(shè)計(jì)工作，使得潔凈壓縮空氣系統(tǒng)實(shí)踐應(yīng)用中能夠達(dá)到預(yù)期效果。在此期間，應(yīng)配置好系統(tǒng)所需的過濾器、儲(chǔ)氣罐、空壓機(jī)、干燥器等，優(yōu)化該系統(tǒng)生產(chǎn)應(yīng)用中的服務(wù)功能。

（2）加強(qiáng)潔凈廠房氣體動(dòng)力工程設(shè)計(jì)。在這類工程設(shè)計(jì)過程中，需要注重綜合動(dòng)力站、換熱站等設(shè)施的配合使用，并根據(jù)空調(diào)負(fù)荷變化情況，選用運(yùn)行效率高的機(jī)組，且在暖通專業(yè)、 氣體動(dòng)力專業(yè)等不同專業(yè)的支持下，開展其所需的設(shè)計(jì)工作，實(shí)現(xiàn)這類工程的科學(xué)設(shè)計(jì)。

3 結(jié)束語

綜上所述，在微電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)中，若能落實(shí)好這些方面的設(shè)計(jì)工作，則有利于增強(qiáng)其潔凈廠房實(shí)踐應(yīng)用效果，確保微電子工業(yè)生產(chǎn)狀況良好性。因此，未來微電子工業(yè)發(fā)展中需要結(jié)合形勢變化及自身的生產(chǎn)需求，給予潔凈廠房設(shè)計(jì)更多的重視，并將相應(yīng)的設(shè)計(jì)工作落到實(shí)處，從而為我國微電子工業(yè)發(fā)展注入活力。